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氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质(ILD),其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用,从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低,在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。
金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别,采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。
磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物,研磨材料主要是石英,二氧化铝和氧化铈,其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择,这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应,弱化其和硅分子联结,这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。
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勒布尔热是法国法兰西岛大区塞纳-圣但尼省的一个市镇,位于巴黎东北10.6公里,属于勒兰西区。巴黎-勒布尔歇机场(Aéroport de Paris-Le Bourget, LBG/LFPB)以本镇为名,但机场用地实际上横跨了本镇与隔邻的迪尼。
(P625)面积P2046,位于法国法兰西岛大区塞纳-圣但尼省,该省份为法国北部内陆省份,毗邻巴黎。
与接壤的市镇(或旧市镇、城区)包括:P47。
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* 郭智,曹魏黄初年间任东安太守。(《魏志·杜畿传》注引《傅子》)
* 续咸,西晋永嘉年间任。(《晋书·儒林传》)
* 杨方,东晋太宁年间任。(《晋书·杨方传》)
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