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紫外光电子能谱学的光源常采用真空紫外灯，近年来也有以同步辐射光源作为光源的。由于光源发射的光子频率已知，通过测量出射光电子的动能就可以得到分子中价电子的电离能。

1960年以前，所有对于光电子的动能的分析实际上都是针对金属和其它固体表面出射的光电子的。1956年左右凯·西格巴恩建立了固体表面分析的X射线光电子能谱学（XPS）方法。该方法用X射线源来研究原子的内层电子（core electron）的能量，其能量分辨率可达1电子伏特。

1962年到1967年期间，物理化学家David W. Turner发展了用于研究气相中的自由分子的电子能谱结构的紫外光电子能谱方法。它们以波长为58.4纳米（属于真空紫外区）的氦灯作为光源对高真空中的分子进行辐照，达到了0.02电子伏特的能量分辨率。当时Turner将这种方法称为“分子光电子能谱学”，现在则一般称为紫外光电子能谱学。与XPS相比，UPS只能得到关于分子的价电子的信息，但是其能量分辨率比XPS高得多。1967年起出现了商品化的UPS仪器。

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