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三氟化氮（NF3）是卤化氮中最稳定的无机化合物，可在铜的催化下由氨气与氟气制成。 它可以用作氟化氢激光器的氧化剂，半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。 但由于三氟化氮属于温室气体，能加剧温室效应，因此有人认为应该限制这种化合物的使用。
三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色，不过这类清洁剂是气态，而非液态。
在半导体中，薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」（CVD）机台，会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料，但这些材料不仅会附著在晶片上，也附著在反应室内的墙壁上，内墙上的二氧化矽累积至相当数量，就会在反应室内形成微尘粒子（Particle），影响晶圆片的良率。
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TOS-1“布拉提诺”（ТОС-1 Буратино - тяжёлая огнемётная система，重型喷火系统）为一款苏联以T-72底盘开发的220毫米30管（原设计，634工程/TOS-1M）或24管（634B工程或TOS-1A）多管火箭炮。TOS-1被设计为轻装甲自行火箭炮，用于打击开阔地区的防御工事，能发射杀伤力大的燃料空气炸弹。其参与的第一场战斗为1988-1989年的苏联对阿富汗的战争中的潘杰希尔峡谷战斗。TOS-1第一次被公开是在1999年的鄂木斯克。
TOS-1的初时的使用单位并非俄罗斯陆军炮兵部队而是。但在2022年俄罗斯入侵乌克兰后则扩展至连俄罗斯空降军也有使用。
配备燃烧弹和温压弹头的重型短程多管火箭炮的概念起始于70年代末。80年代初鄂木斯克运输机器制造厂开发了这一战斗系统，包括战车、火箭弹以及装填车，并命名为TOS-1，这一系统保密了相当长一段时间。
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