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激发出样品的特征X射线一般需要能量很高的电子束、质子束或X射线。首先，入射的电子（或质子、光子）激发出基态原子的内层电子。内层电子在离开原子后会留下空穴。外层的、处于较高能级的电子在填充这些低能级空穴的时候，多余能量可能会以X射线形式放出。能量散射X射线谱仪收集测量的就是这些X射线的能量和强度。由于这些X射线的能量分布可以反映特定元素的原子特征，能量散射X射线谱可被用于测定样品中的元素组成。

电子束激发源被用于电子显微镜、扫描电子显微镜和扫描透射电子显微镜中，而X射线激发源被用于X射线荧光光谱仪中。X射线探测器可将X射线能量转换为电信号；信号随后被发送至脉冲处理器进行测量并传送到分析仪进行分析。过去最常见的探测器是硅锂（SiLi）探测器，需要用液氮冷却才能工作。如今的新系统常配置silicon drift detectors，计数速度更快，且仅需在热电冷却（甚至于室温）下就可以工作。

高能级的电子在填充低能级的空穴时所出现的能量差不一定都以X射线的形式放出，也可以转嫁给另一外层电子，使其获得足够的能量而逸出原子。这类逸出的电子被称作俄歇电子，而通过测量俄歇电子对样品进行分析的手段被称作俄歇电子能谱学（AES）。

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* 清水町 (台南市)：台湾台南市，台湾日治时期行政区

* 清水町 (屏东市)：台湾日治时期高雄州屏东市的一个行政区划。

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早年担任鲁西鄄城第九区区长、冀鲁豫军区第二军分区临泽县大队副政委兼县长、华北独立二旅六团政治主任，平原军区华北独立警备一团政治主任，天津长芦盐务分局党委委员，中央财政部盐务总局人事室副主任，轻工业部供销总局办公室主任、第一轻工业部食品工业管理局局长，轻工业部副部长，农业部副部长、国家经委食品办主任，中国食品工业协会会长。2008年去世。

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