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* 远距电浆增强化学气相沉积（Remote plasma-enhanced CVD，RPECVD）：和PECVD技术很相近的技术。但晶圆不直接放在电浆放电的区域，反而放在距离电浆远一点的地方。晶圆远离电浆区域可以让制程温度降到室温。

* 原子层化学气相气相沉积（Atomic layer CVD，ALCVD）：连续沉积不同材料的晶体薄膜层。参见原子层磊晶（原子层沉积）。

* 热丝化学气相沉积（Hot wire CVD，HWCVD）：也称做触媒化学气相沉积（Catalytic CVD，Cat-CVD）或热灯丝化学气相沉积（Hot filament CVD，HFCVD）。使用热丝化学分解来源气体。

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* 2004年全国田径锦标赛暨奥运会选拔赛

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