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仙槎河是赣江的一条支流,位于江西省泰和县东南部,长50公里,流域面积571平方公里(不含仁善河,下同),其中泰和县境内381平方公里,多年平均径流量3.24亿立方米,总落差853米。
仙槎河发源于泰和县中龙乡 东合和小龙镇 瑶岭,流经小龙镇、中龙乡、灌溪镇和原樟塘乡(现已并入万合镇),在樟塘圩附近的 江背村注入赣江。两条源流在古代分别属十八都和十七都管辖,因此俗称十八都河和十七都河。
在距樟塘圩约2公里处,东西岸分别有仁善河与宁溪河汇入。由于仙槎河与仁善河汇流的河段很短,在统计和管理上,一般视为两条独立的河流,即把仁善河直接视为赣江支流。
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叙五龙属(属名:Xuwulong)是鸟脚亚目恐龙的一属,生存于白垩纪早期的东亚,是种基础型鸭嘴龙形类。根据美国古生物学家葛瑞格利·保罗(Gregory S. Paul)的估计,其全长可达近5公尺(16英尺),重635至650公斤。
正模标本(编号GSGM F00001)是一个完整的头颅骨、部分身体躯干、完整左骨盆,呈关节仍连结状态,2007年发现于中国甘肃省酒泉市俞井子盆地的新民堡群,地质年代相当于阿普第阶到阿尔比阶交界。在2011年,尤海鲁、李大庆等人将这些化石正式叙述、命名,模式种是曰伦叙五龙(Xuwulong yueluni)。属名与种名都是用已故中国地质学家王曰伦为名,王曰伦的字号是叙五,他是甘肃地质博物馆的创始人。
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化学机械平坦化 (Chemical-Mechanical Planarization, CMP),又称化学机械研磨(Chemical-Mechanical Polishing),是半导体器件制造工艺中的一种技术,使用化学腐蚀及机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平坦化处理。
CMP技术早期主要应用于光学镜片的抛光和晶圆的抛光。
20世纪70年代,多层金属化技术被引入到集成电路制造工艺中,此技术使芯片的垂直空间得到有效的利用,并提高了器件的集成度。但这项技术使得硅片表面不平整度加剧,由此引发的一系列问题(如引起光刻胶厚度不均进而导致光刻受限)严重影响了大规模集成电路(LSI)的发展。针对这一问题,业界先后开发了多种平坦化技术,主要有反刻、玻璃回流、旋涂膜层等,但效果并不理想。80年代末,IBM公司将CMP技术进行了发展使之应用于硅片的平坦化,其在表面平坦化上的效果较传统的平坦化技术有了极大的改善,从而使之成为了大规模集成电路制造中有关键地位的平坦化技术。
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