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更新于 2026-10-12

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三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

因此每台CVD机台在处理过规定数量的晶圆片后,就要使用含氟的气体清洗,以去除内壁上的矽化物质。不过NF3与CF4、C2F6等气体都属于多氟碳化物,是造成温室效应的来源之一。半导体厂为了降低排气对温室效应的影响,在排放含氟废气前,会以高温(摄氏700、800度才进行)将气体由有机转分解为无机,才不会破坏臭氧层。

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圣加仑大学有六所学校,分别是管理学院、人文社会科学学院、法学院、金融学院、经济与政治学院和计算机学院。 主要学科包括工商管理、金融、经济学、法学和国际关系学。设有经济与金融、计算机科学、法学、组织研究和文化理论、管理学、国际事务和政治经济学博士学位。

圣加仑大学拥有瑞士规模最大的工商管理教师队伍。 根据英国金融时报的商学院2016年排名,圣加仑大学在全球管理硕士排名第一。自从2000年起,金融时报将圣加仑大学的战略与国际管理硕士项目(Master in Strategy and International Management,SIM) 排在全球第1,并于2014年将其银行与金融硕士项目(Master's program in Banking and Finance,MBF)排名全球第6。

圣加仑大学是CEMS和国际事务专业学院协会(APSIA)的成员之一。它也获得了EQUIS和AACSB的商学院认证。

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北大东机场是冲绳县岛尻郡北大东村(北大东岛)的机场。根据日本空港整备法被分成第三种机场。

* 1978年:北大东紧急降落场改为北大东机场(民用机场),机场跑道长800公尺。

* 1997年:机场跑道延长到1,500公尺。

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