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微机械超声换能器(Micromachined Ultrasonic Transducer, MUT)是基于薄板翘曲振动的换能器,根据驱动机制的不同,分为压电式微机械超声换能器(piezoelectric-MUT, pMUT),与电容式微机械超声换能器(capacitive-MUT, cMUT)453。因为微机械超声换能器通过MEMS工艺制备,从而与集成电路有较大的工艺兼容性,因而是微型化超声系统最佳的实现方案,可以实现大规模的制备和封装,应用在指纹识别、空气测距、导管超声及便携式超声等领域。
叉指换能器(Interdigital Transducer, IDT)是在压电基片上用真空蒸发淀积一层金属薄膜,再用光刻方法得到两个互相间隔形似叉指的梳形电极,制成用来激发和接收声表面波的换能器。IDT电声转换损耗低,设计灵活且制造工艺简单,容易工作在0.5-3 GHz的频率范围内,已成为激发与检测声表面波的主要技术,成为声表面波器件和传感器的基本组成部分,得到广泛应用307。
超声应用覆盖了非常广的频率范围xxii。通常,超声波被定义为超过可听频率的声波,但也有一定应用工作在20 kHz以下。在一部分声纳系统中,频率选定在数千赫兹以减少衰减。百赫兹的声波在海洋声学中用于全球层析成像;40 kHz的超声往往被用于物体检测,这主要是受声波衰减限制的检测范围与频率决定的分辨率之间的折衷;对于传统医疗检测,超声波的频率范围处于2 MHz - 20 MHz之间;兆赫兹的声波一般用于金属物体的超声探伤。在固体材料的检测中,横波与纵波都有用到;超声显微镜对于分析微电子器件非常有用,频率通常在100 MHz – 1 GHz间,使得空间分辨率接近光学显微镜。对于1 GHz以上更高的频率,有时被用于材料表征和科学研究领域;15 kHz – 100 kHz的振动系统也多用于传统的功率超声应用,如机械加工、焊接和清洁;也有超声清洁器工作在兆赫兹,用于硅晶圆与电子设备的清洁。此外,更高的频率上也探索了超声焊接的应用,用于引线键合与塑料焊接,从而解决集成电路小型化的瓶颈。诸如滤波器、传感器和驱动器等,多覆盖20 kHz – GHz,取决于换能器的结构和应用。
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减载(load shedding)又称降载、切负荷、减负荷,广义上是指公用事业公司为降低系统负载,而特意执行的措施。狭义上专指电力系统受到突发性干扰事故导致供电系统不稳定或系统供电容量不足时,为维持电力系统的功率平衡和稳定性,避免发生电压崩溃而大面积断电,将部分负荷从电网上断开的措施;目前多由自动控制装置来实现。有时,减载也作为控制火力发电厂(尤燃煤电厂)造成空污的手段。
* 低频减载是指当电力系统出现有功功率缺额并引起频率下降时,电网的自动控制装置为维持系统安全运行和重要用户正常供电,会依据频率下降的幅度,自动切除次要负荷(例如发电机因低频保护,而自动脱扣或跳闸)的技术措施。
* 低压减载则是当电力系统因无功缺额使电压异常且低于允许值时,电网的自动控制装置为维持系统安全运行和重要用户正常供电,自动切除次要负荷,使电压恢复的技术措施。
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