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金朝将宋朝的河东路分为河东北路、河东南路,河东南路治所在平阳府(今山西省临汾市),辖境包括今山西省中阳县、灵石县、昔阳县以南,河南省武陟县以西的黄河以北。
下辖平阳府(山西临汾市)、河中府(山西永济县)、隰州(山西隰县)、吉州(山西吉县)、绛州(山西新绛县)、解州(山西运城市西南)、泽州(山西晋城市)、潞州(山西长治市)、辽州(山西左权县)、沁州(山西沁县)、怀州(河南沁阳市)、孟州(河南孟州市)。元朝废除。
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裴清廉(Bùi Thanh Liêm,1981年)是越南军事飞行员。
1949年生于河内。1966年高中毕业后自愿参加越南人民军,在空军部队服役。参加了越南战争,1972年6月27日击落一架美军F-4幽灵II战斗机。1974年至1978年在加加林空军学院深造。
1979年与范遵获选进入苏联的国际宇航员计划,一起在加加林宇航员培训中心接受太空训练。在1980年7月的联盟37号飞船载人任务中,范遵成功完成任务,在空中逗留了7天。裴清廉是范遵的替补乘员而未能上天。1980年返回越南后,裴清廉继续在空军服役。
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本节讨论通常用于集成电路的CVD工艺。不同的材料会应用于不同的环境。
多晶硅是从硅烷(SiH4)沉积所得到的。使用以下反应:
这种反应通常使用低压化学气相沉积系统(LPCVD),使用单纯的硅烷或用70-80%的氮硅烷作为原料。在温度在600°C至650°C之间,压力为25~150帕斯卡的条件下,沉积速度在每分钟10至20纳米之间。另一种工艺使用氢为还原剂。氢气会降低增长速度,所以温度提高到850甚至1050℃进行补偿。
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