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* 微波等离子体辅助化学气相沉积（Microwave plasma-assisted CVD，MPCVD）
* 等离子体增强化学气相沉积法（Plasma-Enhanced CVD，PECVD）：利用等离子体增加前驱物的反应速率。PECVD技术允许在低温的环境下成长，这是半导体制造中广泛使用PECVD的最重要原因。
* 远距电浆增强化学气相沉积（Remote plasma-enhanced CVD，RPECVD）：和PECVD技术很相近的技术。但晶圆不直接放在电浆放电的区域，反而放在距离电浆远一点的地方。晶圆远离电浆区域可以让制程温度降到室温。
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1901年（日治明治三十四年）11月11日，全台废县厅改设二十厅，该庄隶属于嘉义厅。1904年（明治三十七年）2月20日，该庄编入「柴头港区」，隶属于嘉义厅。1905年（明治三十八年）7月1日，嘉义厅内管辖区域调整，该庄改隶属于「水堀头区」。1909年（明治四十二年）10月25日，全台合并二十厅为十二厅，水堀头区仍隶属于嘉义厅。1920年（大正九年）10月1日，全台地方制度大改正，废十二厅改设五州二厅，该庄改制并雅化为「埤麻脚」大字，隶属于台南州东石郡太保庄（新制街庄）。
战后太保庄改制为太保乡，隶属于台南县，大字亦改制为村。1950年10月25日，云、嘉、南分治，太保乡改隶属嘉义县。1991年7月1日，因应嘉义县治迁入，太保乡升格为县辖市太保市，村亦改制为里。
该地区发展较早的聚落有埤蔴脚（已消失）、正音厝（已消失）等，在日治期初期的官方地图上已有记载。
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谢林点（Schelling point），又译为薛林点，或称为聚焦点（Focal point），是博弈论中人们在没有沟通的情况下的选择倾向，做出这一选择可能因为它看起来自然、特别、或者与选择者有关。美国诺贝尔奖获得者托马斯·谢林于1960年在《冲突的策略》一书中提出该概念。在该书中，谢林描述“每个人期望的聚焦点是他人期望他本人期望被期望做出的选择。”这种概念后来以谢林的名字命名。
例如：两个独立不能交流的人，都被要求从四个球中选择一个，当且仅当两人选中同一个球则获得奖励。四个球中三个是蓝色的，一个是红色的。假设两个人对对方一无所知，但又都希望得奖，那么他们基本上一定会选择红色的球。当然，红色的球并不比蓝色的球好，他们如果都选中一个蓝色的球一样可以得奖，而且仅仅当一个人知道另一个人也选择了红球才应该去选择红球（当然这种情况不可能发生）。但是红球是最保险，也最明显的球，事实上在这种情况下绝大多数人会选择红球。
假设明天你要在纽约跟一个陌生人见面，你会选择什么时间和什么地点？这是一个Coordination game问题，其中任何时间任何地点都平等。谢林询问了一些学生，发现绝大多数的回答是“中午在纽约中央车站”。没有什么因素使“纽约中央车站”成为更好的地点（任何一个酒吧，或者图书馆阅读室都可以用于约定见面），但纽约的文化传统提高了中央车站的保险系数，从而使其成为一个自然的“谢林点”。
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