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化学机械平坦化是在机械抛光的基础上根据所要抛光的表面加入相应的化学添加剂从而达到增强抛光和选择性抛光的效果。
氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质（ILD），其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用，从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低，在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。
金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别，采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。
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南溪映南塔位于四川省宜宾市南溪区，文物遗址年代判定为清。2012年7月16日公布为第八批四川省文物保护单位。
南溪映南塔位于四川省宜宾市南溪区江南镇新塔村三组塔山，俗称“新塔”，砖石结构，坐东南向西北。始建于明，清嘉庆三年（1798）重建。塔底为石质八边形，塔基高0.78公尺，边长3.30公尺，占地52.7平方公尺，塔门额匾“映南塔”，通高26.5公尺，楼阁式七层攒尖顶，逐层上收，每层均开卷拱形门窗。除一、二层门窗方向不同外，其余门窗向南，多假窗。塔簷用砖叠砌挑出。塔门内左有螺旋蹬道共38级，四至七层为穿心式踏道54级，宝顶系熟铜制造。2011年，南溪映南塔被宜宾市人民政府公布为市级文物保护单位。
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嘉兴粽子文化博物馆为位于中国浙江省嘉兴市南湖区月河历史街区小猪廊下中基路180号的一家民办博物馆。
2009年由真真老老食品有限公司创办，以嘉兴粽子历史与粽子文化为主题，建筑面积1051.6平方米，馆藏300余件。主要展示内容包括马家浜文化与嘉兴粽子的起源和传承，古街张家弄合记、庆记和荣记五芳斋粽子店的历史及五芳斋、真真老老、昌记等当地知名粽子品牌的变迁过程，并设置有专门的体验粽子制作过程的互动区。
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