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化学机械平坦化是在机械抛光的基础上根据所要抛光的表面加入相应的化学添加剂从而达到增强抛光和选择性抛光的效果。
氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质（ILD），其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用，从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低，在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。
金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别，采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。
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《我的宝贝子女》（금쪽같은 내새끼；My Lovely Family）是韩国KBS电视台于2004年6月至2005年2月期间，韩国时间逢星期一至五，晚上8时25分播放的日日连续剧，全剧长达179集，每集约35分钟，由南宫珉、洪洙贤、沈志浩、金彬宇等演出。
高希秀因爸爸替人作担保而欠下巨债，一家人所居住的房子也将要被拍卖。为了救这个家，希秀到财务公司求情，而负责管理公司的董事长夫人就以希秀的身体作交换条件，希秀要听从她的命令，而希秀要做的事就是无论如何都要和董事长的儿子安振国结婚。希秀逐渐地接近振国，并要求与他结婚，振国怎样问她为何这样她都不答，他开始怀疑是他的后母在背后指使她，并派人调查……
另一方面，金载民与宋知慧见了三次面就堕入爱河，两人不久更结为夫妇，但他们都是父母的独生子女，所以，载民的妈妈和知慧的爸爸特别疼爱他们，常常打扰他们的新婚生活。为了脱离父母的怀抱独立生活，载民与知慧合谋搬到首尔的其他地方，让父母找不著他们，过著幸福的二人世界……
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* 4个研究所：人工智能、计算机软件、计算机系统结构与网络安全研究所、现代工业设计
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