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激发出样品的特征X射线一般需要能量很高的电子束、质子束或X射线。首先，入射的电子（或质子、光子）激发出基态原子的内层电子。内层电子在离开原子后会留下空穴。外层的、处于较高能级的电子在填充这些低能级空穴的时候，多余能量可能会以X射线形式放出。能量散射X射线谱仪收集测量的就是这些X射线的能量和强度。由于这些X射线的能量分布可以反映特定元素的原子特征，能量散射X射线谱可被用于测定样品中的元素组成。

电子束激发源被用于电子显微镜、扫描电子显微镜和扫描透射电子显微镜中，而X射线激发源被用于X射线荧光光谱仪中。X射线探测器可将X射线能量转换为电信号；信号随后被发送至脉冲处理器进行测量并传送到分析仪进行分析。过去最常见的探测器是硅锂（SiLi）探测器，需要用液氮冷却才能工作。如今的新系统常配置silicon drift detectors，计数速度更快，且仅需在热电冷却（甚至于室温）下就可以工作。

高能级的电子在填充低能级的空穴时所出现的能量差不一定都以X射线的形式放出，也可以转嫁给另一外层电子，使其获得足够的能量而逸出原子。这类逸出的电子被称作俄歇电子，而通过测量俄歇电子对样品进行分析的手段被称作俄歇电子能谱学（AES）。

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两性离子（德语：zwitterion）是总电荷为0，电中性的化合物，又称内盐。虽然两性离子是电中性分子，但它却同时带有正负两种电荷，且带正电和负电的原子不同。有些化学家还认为两性离子中带正电和带负电的原子不应该是相邻的。此定义将诸如氧化胺的化合物排除。两性离子为极性，通常易溶于水，难溶于大部分有机溶剂。

两性电解质是具有酸性与碱性基团的分子（因此具备两性的特性），在特定pH值环境多半以两性离子存在。平均电荷为0的pH值称为该分子的等电点。

两性电解质用于建立稳定的pH梯度，供等电位聚焦使用。

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