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费声骞，又名声钱，斋号无寐楼，浙江镇海人，中国药理学家、书法家。

供职于上海市食品药品监督管理局科技情报研究所高级工程师，事医药研究、日文医药文献翻译。

书法少从任政学隶。后由任政引荐，师从沈尹默主修行楷书，为沈氏晚年入室弟子。行书承沈尹默一脉，深得三昧；兼取北宋黄山谷、清人王文治笔意，字迹遒丽秀逸。隶书专攻礼器、史晨、乙瑛、曹全诸汉碑，浑厚古朴，得汉人遗意。生前为中国书法家协会会员、上海中华书画协会副理事长、上海书法家协会理事、《写字》杂志编委等。

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七氟醚的安全记录良好，但可能对婴幼儿构成神经毒性，及在罕见情况下导致类似氟烷的Hepatotoxicity问题，引起了医学界的关注。由于对气道粘膜的刺激性较低，七氟醚成为了诱导麻醉的首选用药。

七氟醚的发现者为罗斯·特雷尔（Robert Terrell）及伯纳德·列根（Bernard M. Regan）。他们分别地发现七氟醚的麻醉功效。伯纳德·列根等人于1975年发表了一篇详述七氟醚的性质和研发过程的文章。本药1990年起正式在日本作临床使用。七氟醚的全球性专利权本来由Baxter International拥有，多次换手后被雅培收购。目前专利已过期，故七氟醚属于学名药。

七氟醚适用于不同年龄的病人，经常用于日间手术和门诊手术病人，是其中一种最为常用的麻醉药。七氟醚和地氟醚正逐渐取代异氟醚和氟烷，成为人用全身麻醉药的首选。兽医学上现在也广泛采用七氟醚。

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靶形成负电极，基板形成带正电电极。通过使用（例如，作为稀有气体的原子碰撞电离氩气）形成在一个气体空间的等离子体（氩低压等离子体），带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件，或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射，直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时，通过动量传递从目标喷射粒子，该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积（沉积）。

该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料，将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电，因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程，因为随后的离子将被电击穿。另外，可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低，因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。

上述双电极变体也称为直流二极管溅射。另外，还存在诸如直流三极管溅射的其他形式，其中靶被布置为等离子体室外部的第三电极。以这种方式，等离子体产生和溅射过程可以解开耦合。

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