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更新于 2026-10-16

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岑可法(1月),广东南海人。工程热物理专家,浙江大学机械与能源工程学院教授。

1952年毕业原中山大学附属中学(现广东实验中学)。1952年考入武汉大学工学院电机系,1953年院系调整时转入华中工学院学习,1956年毕业于华中工学院(现华中科技大学)动力系,1962年取得莫斯科包曼高等工业大学动力系副博士学位。

1957到1958年在浙大工学院电机工程学系任教。1962年起先后在浙大电机工程学系、热物理工程学系、能源工程学系任教,1983年升任教授。1995年当选为中国工程院院士。

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靶形成负电极,基板形成带正电电极。通过使用(例如,作为稀有气体的原子碰撞电离氩气)形成在一个气体空间的等离子体(氩低压等离子体),带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件,或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射,直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时,通过动量传递从目标喷射粒子,该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积(沉积)。

该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料,将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电,因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程,因为随后的离子将被电击穿。另外,可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低,因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。

上述双电极变体也称为直流二极管溅射。另外,还存在诸如直流三极管溅射的其他形式,其中靶被布置为等离子体室外部的第三电极。以这种方式,等离子体产生和溅射过程可以解开耦合。

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相关阅读:在直流溅射中

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燕鸟的头颅骨并非如双孔亚纲的一般,且没有前额叶骨,故牠被分类在包括现今鸟类的共同祖先的今鸟亚纲中。燕鸟的肩胛骨及鸟喙骨都已演化成现今鸟类的模样,牠的双翼可以提起至更高的位置飞翔。故此燕鸟比反鸟亚纲飞行得更有效率。为了连接供飞行用的肌肉,燕鸟的胸骨长度较阔度长,这亦是一现今鸟类的模样。

燕鸟在人类学术历史曾被蒙上阴影:牠前半身的鸟类化石,被加上一条小盗龙的尾巴,伪造成古盗龙。当这事被揭发后,鸟类的前半身被描述为Archaeovolans repatriatus,但后来发现那是燕鸟的异名。

2006年就早期鸟类关系的研究发现燕鸟、义县鸟及松岭鸟是一个单系群,由于松岭鸟是最先被描述的,故将之命名为松岭鸟科。燕鸟目(又称松岭鸟目)也被建立来界定与其他早期今鸟亚纲(如甘肃鸟)不同的独特性。另亦有指燕鸟其实是松岭鸟的异名。

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