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化学机械平坦化 (Chemical-Mechanical Planarization, CMP),又称化学机械研磨(Chemical-Mechanical Polishing),是半导体器件制造工艺中的一种技术,使用化学腐蚀及机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平坦化处理。
CMP技术早期主要应用于光学镜片的抛光和晶圆的抛光。
20世纪70年代,多层金属化技术被引入到集成电路制造工艺中,此技术使芯片的垂直空间得到有效的利用,并提高了器件的集成度。但这项技术使得硅片表面不平整度加剧,由此引发的一系列问题(如引起光刻胶厚度不均进而导致光刻受限)严重影响了大规模集成电路(LSI)的发展。针对这一问题,业界先后开发了多种平坦化技术,主要有反刻、玻璃回流、旋涂膜层等,但效果并不理想。80年代末,IBM公司将CMP技术进行了发展使之应用于硅片的平坦化,其在表面平坦化上的效果较传统的平坦化技术有了极大的改善,从而使之成为了大规模集成电路制造中有关键地位的平坦化技术。
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拉彭兰塔机场(Lappeenrannan lentoasema,IATA:LPP,ICAO:EFLP),位于芬兰东南部拉彭兰塔市以西2公里处。该机场是芬兰最早的机场,建于1918年。Karjalan ilmailumuseo位于该机场区域内。2015至2017年间该机场没有开通航线。
2009年11月波罗的海航空开通经停塔林至里加的航线。从该机场也有直飞希腊和加那利群岛的包机航班。2019年春季时也有个别度假包机飞往埃及。
该机场在2010年4月的客流量达到历史顶峰。其时近11000名旅客经停该机场。之前的记录是在1998年,当时的最高月客流量近7900人。
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孙光远,原名孙鎕,男,浙江余杭人,中国数学家,中国近代数学奠基人之一,中国微分几何与数理逻辑研究的先行者。
孙光远是浙江余杭和睦乡梧桐村(今余杭区闲林街道万景村)人。1916年考入南京高等师范学校。曾任南京高师数学研究会总干事。1920年南高毕业后留校任助教,同时从事微分几何、数理逻辑研究。1924年和陈雯美结婚。1925年春,入美国芝加哥大学研究生院攻读微分几何,1927年以毕业论文《曲面对的射影微分几何学》获博士学位。
1928年回国,任北京清华大学数学系教授,期间招收中国第一名数学研究生陈省身。回国后,经常在国内外数学杂志发表学术论文,为当时中国国内唯一从事研究的数学家。1933年到国立中央大学数学系任教,曾任数学系主任、理学院院长;1949年中央大学更名为南京大学后,仍任数学系主任、理学院院长。与孙叔平合著的《微积分学》在中国数学发展史上占有重要地位。
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