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更新于 2026-10-14

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隆庆初年(1567年)十一月升大理寺右寺丞,同年九月,庞尚鹏上疏力攻武英殿大学士郭朴,御史凌儒复言朴。最终致使郭朴致仕回籍。隆庆二年(1568年)二月升都察院右佥都御史、总理两淮长芦山东三盐运司兼理江北山东蓟辽保定河南等处盐屯,经理“九边”屯务,“凡诸色人等有能尽力垦种,悉免起科”。隆庆三年(1569年)十二月,河东巡盐郜永春劾尚鹏心术狡猾、行事乘违,吏部尚书杨博引罪致仕,尚鹏被令闲住,四年六月被斥为民。明神宗即位,御史计坤亨等上疏言尚鹏无罪。

万历四年(1576年)十一月起任福建巡抚,清廉自洁,《虚室行》诗云“细视瓶中久无粟,举火终朝待邻曲。长饥近午始一餐,敢望丰年收万斛。”以推行一条鞭法和清理整顿两淮盐法而闻名。一条鞭法成闽省定制。六年正月升都察院左副都御史协理院事,后与胡守仁发生冲突,首辅张居正以重言谴责庞尚鹏。六年(1578年)六月被吏科都给事中陈三谟参劾,被令回籍听用。罢官南归。家居期间,撰写《庞氏家训》,内有“务本业”、“禁奢靡”等六章,共计六十七条。万历九年(1581年)卒于家,年五十八。天启年间,追谥惠敏。杭州西湖葛岭建有庞公祠。

著有《百可亭稿》、《奏议》、《殷鉴录》、《行边漫议》、《庞氏家训》等。

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氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质(ILD),其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用,从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低,在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。

金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别,采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。

磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物,研磨材料主要是石英,二氧化铝和氧化铈,其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择,这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应,弱化其和硅分子联结,这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。

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