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更新于 2026-10-13

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陈维庚(1958年),字荫生,云南会泽县人。毕业于云南陆军小学堂(1910年毕业)和日本陆军大学第十五期(1922年-1924年)。1912年考入云南陆军讲武堂第四期步兵科,1913年毕业。1926年担任剿匪总司令部总司令,同年被任命为滇西镇守使。1927年昆明二六政变后,辞职前往上海。1928年初,任云南省政府委员(主席为龙云),兼任省政府财政厅厅长,不久辞职,回到昆明研究中医药,开设“日月大药房”。抗战期间多次向出省抗日部队捐赠医药。中华人民共和国成立后,1950年当选为云南省各界政治协商会议委员。1958年在昆明因病逝世。

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学园俱乐部(英语:The Lyceum Club),亦被称为澳洲学园俱乐部协会(Australian Association of Lyceum Clubs),是一个澳洲美术、文学和行动主义女子组织,于1972年由若干个小型团体共同成立。该俱乐部的目标为透过提供与其他学园组织成员联络以及联谊的机会,来推广善意精神、对协会内部的了解和提升各学园团体之愉快程度。该俱乐部在该国阿德莱德(于1922年由海伦·玛约医生创立)、墨尔本、悉尼、珀斯以及布里斯本设有学园俱乐部分部。

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靶形成负电极,基板形成带正电电极。通过使用(例如,作为稀有气体的原子碰撞电离氩气)形成在一个气体空间的等离子体(氩低压等离子体),带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件,或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射,直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时,通过动量传递从目标喷射粒子,该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积(沉积)。

该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料,将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电,因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程,因为随后的离子将被电击穿。另外,可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低,因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。

上述双电极变体也称为直流二极管溅射。另外,还存在诸如直流三极管溅射的其他形式,其中靶被布置为等离子体室外部的第三电极。以这种方式,等离子体产生和溅射过程可以解开耦合。

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