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更新于 2026-10-09

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此奖项曾使用多个名字,当中有最佳动作/剧情片男演员(2002–2004、2006),当中有最佳动作/惊栗片男演员(2005),2007年起开始沿用最佳动作片男演员为此奖项之名字,并一直沿用至今。

最佳动作/戏剧片男演员 (2002 - 2004、2006)

最佳动作片男演员 (2007 - 现在)

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靶形成负电极,基板形成带正电电极。通过使用(例如,作为稀有气体的原子碰撞电离氩气)形成在一个气体空间的等离子体(氩低压等离子体),带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件,或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射,直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时,通过动量传递从目标喷射粒子,该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积(沉积)。

该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料,将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电,因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程,因为随后的离子将被电击穿。另外,可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低,因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。

上述双电极变体也称为直流二极管溅射。另外,还存在诸如直流三极管溅射的其他形式,其中靶被布置为等离子体室外部的第三电极。以这种方式,等离子体产生和溅射过程可以解开耦合。

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