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更新于 2026-10-14

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三氟化氮(NF3)是卤化氮中最稳定的无机化合物,可在铜的催化下由氨气与氟气制成。 它可以用作氟化氢激光器的氧化剂,半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。 但由于三氟化氮属于温室气体,能加剧温室效应,因此有人认为应该限制这种化合物的使用。

三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

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* 泰国甲组足球联赛冠军:2017、2018、2021–22

* 泰国冠军杯冠军:2019、2021、2022

* 东南亚足协U-19青年锦标赛冠军:2015

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4月22日,“作曲者”缪森发表正式声明否认抄袭,并指称这些抄袭的指控是「误导公众」、「别有用心」。

4月27日,针对上述缪森的声明,冈本的所属事务所与唱片公司发表联合声明提到「从主歌到副歌这样原封不动地被『翻唱』是不对的」,表达了对于此曲的抄袭指责;并强烈希望“作曲者”缪森正视这个问题。

在缪森的声明之后,冈本真夜这边就再也没有收到来自上海世博的联络,本来是倒计时30天宣传歌的《2010等你来》也呈现被冷冻不用的状态直到世博开幕。此曲本来预订是4月30日开幕式的表演之一,也默默被取消;中国国内也一律禁止报导上海世博向冈本真夜这方请求授权的有关新闻。

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