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化学机械平坦化是表面全局平坦化技术中的一种，既可以认为是化学增强型机械抛光也可以认为是机械增强型湿法化学刻蚀。该工艺使用具有研磨性和腐蚀性的磨料，并配合使用抛光垫和支撑环。抛光垫的尺寸通常比硅片要大。抛光垫和硅片被一个可活动的抛光头压在一起，而塑料的支撑环则用于保持硅片的位置。硅片和抛光垫同时转动（通常是以相反的方向转），但是它们的中心并不重合。在这个过程中硅片表面的材料和不规则结构都被除去，从而达到平坦化的目的。平面化后的硅片表面使得干式刻蚀中的图样的成型更加容易。平滑的硅片表面还使得使用更小的金属图样成为可能，从而能够提高集成度。
化学机械平坦化是在机械抛光的基础上根据所要抛光的表面加入相应的化学添加剂从而达到增强抛光和选择性抛光的效果。
氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质（ILD），其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用，从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低，在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。
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霏细岩（felsite）是一种粒度非常细的火山岩，有可能较大的晶体。 霏细岩是对这类浅色岩石通称术语，通常需要对其进行岩相检查或化学分析才能获得更精确的定义。霏细岩的颜色通常是白色到浅灰色，或者是红色到棕褐色。霏细岩可能包括除深灰色、绿色或黑色（暗色岩的颜色）以外的任何颜色。霏细岩由细粒状的长英质材料组成，特别是石英、钠长石和钾长石。如果存在石英表晶，则可以称为石英霏细岩。这种岩石通常是由细火山灰压实形成的，并且可能与黑曜岩和流纹岩结合在一起被发现。在某些情况下，它的晶粒足够细，可用于制造石材工具。其细腻的质地和长丝状的成分，使它们很容易被打结，就像成为石质工具的角岩一样，会产生贝壳状断裂。
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克恩县（Kern County）是一个位于美国加利福尼亚州中央谷地南部的县份。根据2010年人口普查，克恩县共有人口839,631人，其中白人占61.6%、非裔美国人占6.02%、亚裔美国人占3.37%、印第安人占1.51%。克恩县的县治为贝克斯菲尔德。克恩县的经济在很大程度上依赖农业和石油开采业。
克恩县的总面积为sqmi，既是加利福尼亚州面积第三大的县份，亦是美国面积第20大的县份。而克恩县于2010年共有人口839,631人，既是加州人口第11多的县份，亦是美国人口第61多的县份。
根据2000年人口普查，克恩县总面积为sqmi，其中有sqmi，即99.75%为陆地；sqmi，即0.25%为水域。克恩县既是加利福尼亚州面积第三大县份，亦是美国面积第20大的县份。
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