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磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物，研磨材料主要是石英，二氧化铝和氧化铈，其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择，这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应，弱化其和硅分子联结，这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。
抛光垫通常使用聚亚胺脂（Polyurethane）材料制造，又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫，利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性，表面有特殊之沟槽，提高抛光的均匀性，垫上有时开有可视窗，便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材，一个抛光垫虽不与晶圆直接接触，但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下，目前主要生产厂商为陶氏化学集团（DOW CHEMICALS）及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。
CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处（见上图），但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单，而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上，被称作终点检测，通常有电机电流终点检测、光学终点检测。
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* 1991年与中国国务院机电部第六研究所等单位合作推出华胜3000系列超级微机工作站。
* 中国工商银行天津分行采用其开发的M—240双机系统，实现会计帐务，储蓄业务及通存通兑等业务。
* 中国国务院采用此研究所开发的办公厅办公自动化系统，实现办公自动化。
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* 任期：1955年3月－1958年11月
* 副省长：晁哲甫、王卓如、刘民生、李澄之、高克亭（1956年8月－）、杨宣武（1956年8月－）、袁子扬（1956年8月－）、余修（1956年8月－）、张竹生（1956年8月－）、苗海南（1956年8月－）、王哲（1956年8月－）、李宇超（1956年8月－）
* 任期：1958年11月－1963年12月
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