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CMP技术早期主要应用于光学镜片的抛光和晶圆的抛光。
20世纪70年代,多层金属化技术被引入到集成电路制造工艺中,此技术使芯片的垂直空间得到有效的利用,并提高了器件的集成度。但这项技术使得硅片表面不平整度加剧,由此引发的一系列问题(如引起光刻胶厚度不均进而导致光刻受限)严重影响了大规模集成电路(LSI)的发展。针对这一问题,业界先后开发了多种平坦化技术,主要有反刻、玻璃回流、旋涂膜层等,但效果并不理想。80年代末,IBM公司将CMP技术进行了发展使之应用于硅片的平坦化,其在表面平坦化上的效果较传统的平坦化技术有了极大的改善,从而使之成为了大规模集成电路制造中有关键地位的平坦化技术。
化学机械平坦化是表面全局平坦化技术中的一种,既可以认为是化学增强型机械抛光也可以认为是机械增强型湿法化学刻蚀。该工艺使用具有研磨性和腐蚀性的磨料,并配合使用抛光垫和支撑环。抛光垫的尺寸通常比硅片要大。抛光垫和硅片被一个可活动的抛光头压在一起,而塑料的支撑环则用于保持硅片的位置。硅片和抛光垫同时转动(通常是以相反的方向转),但是它们的中心并不重合。在这个过程中硅片表面的材料和不规则结构都被除去,从而达到平坦化的目的。平面化后的硅片表面使得干式刻蚀中的图样的成型更加容易。平滑的硅片表面还使得使用更小的金属图样成为可能,从而能够提高集成度。
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在经营上,恒隆与长实、新地等相比一个明显不同的特色是它相当重视地产投资业务。1972年恒隆上市时,它的租金收入仅500万元,占公司经营收入的10%。但到1977年度,恒隆的租金收入已增加到2,880万元,占公司综合纯利的比重已超过45%。恒隆在地产经营上的另一个重要恃色,就是它重视发展庞大的住宅区计划。早在1975年恒隆就兴建有600个住宅单位的荔湾花园。1977年,恒隆与合和合组财团,夺得地铁九龙湾车辆维修厂上盖的物业发展权,该项目有超过5,000个住宅单位,德福花园的发展利润由地铁公司占50%,恒隆、合和各占25%,当时平均每个单位的售价达22万元,超过原来的估计,恒隆赚取了可观利润。
1978年,恒隆以2亿元向上市公司淘化大同购入约22.26万方呎土地,计划兴建淘大花园。其后恒隆以每股9.65元收购淘大75.6%股权,使之成为恒隆的附属公司,以使进一步开发淘大的土地资源。淘大花园最后分四期发展,建成4,800个住宅单位和部分商场,总投资达9.4亿元。
1979年,恒隆与长实(恒隆占37.5%),再投得地铁旺角站上盖物业发展权,兴建一幢22层高的商业大厦旺角中心。80年代初,旺角中心推出之际,正值地产高峰期,扣除给予地铁的盈利之外,总利润高达43亿元,恒隆赚得其中的1.6亿元。
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2005年6月10日,榆神高速公路获得陕西省发展和改革委员会批准立项。11月23日,榆神高速公路工程可行性研究报告获得陕西省发展和改革委员会批复。
2007年4月19日,榆神高速公路开工仪式在榆林举行。2008年2月3日,陕西省发展和改革委员会以陕发改交运〔2008〕125号文件批复核准建设榆神高速公路。4月22日,由陕西榆林榆神高速公路有限公司组织施工招投标,共分为两个合同段,中标单位分别为第A1合同段中国中铁股份有限公司,第A2合同段中铁二局股份有限公司。
2009年9月,陕西省发展和改革委员会以《关于榆林至神木高速公路有关问题的函》(陕发改基础函〔2009〕314号文件)同意陕西省交通运输厅关于榆神高速公路项目初步设计的概算等有关问题。11月26日,陕西省人民政府以陕政办函〔2009〕192号文件批复同意榆林至神木段高速收取车辆通行费。12月8日,榆林至神木段建成通车。
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