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更新于 2026-10-10

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色吧综合TC常见问题汇总

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化学机械平坦化 (Chemical-Mechanical Planarization, CMP),又称化学机械研磨(Chemical-Mechanical Polishing),是半导体器件制造工艺中的一种技术,使用化学腐蚀及机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平坦化处理。

CMP技术早期主要应用于光学镜片的抛光和晶圆的抛光。

20世纪70年代,多层金属化技术被引入到集成电路制造工艺中,此技术使芯片的垂直空间得到有效的利用,并提高了器件的集成度。但这项技术使得硅片表面不平整度加剧,由此引发的一系列问题(如引起光刻胶厚度不均进而导致光刻受限)严重影响了大规模集成电路(LSI)的发展。针对这一问题,业界先后开发了多种平坦化技术,主要有反刻、玻璃回流、旋涂膜层等,但效果并不理想。80年代末,IBM公司将CMP技术进行了发展使之应用于硅片的平坦化,其在表面平坦化上的效果较传统的平坦化技术有了极大的改善,从而使之成为了大规模集成电路制造中有关键地位的平坦化技术。

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相关阅读:化学机械平坦化

色吧综合TC常见问题汇总

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* 2015年4月4日:与唯爱艺术关怀协会合办举行公益快闪活动,分别于员林车站、草屯宝岛时代村、台中大远百等地举办。

* 2016年:与丰丘长老教会合办主日学联合冬令营、圣诞节联合音乐礼拜。

* 2019年10月26日:举行设教60周年感恩布道晚会,磐石现代乐团首度于此举行行走/诗歌布道会。

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相关阅读:溪州长老教会

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* 大老山隧道(2号干线)(于1996年5月起使用)

* 将军澳隧道(7号干线)(于1997年10月起使用)

* 城门隧道(9号干线)(于1997年10月起使用)

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