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1913年出生于安徽省金寨县。1929年参加赤卫队,先后在中国工农红军第四方面军、八路军第一二九师、晋冀鲁豫野战军第八纵队任职。参加过长征。
1949年任中国人民解放军第60军第一八〇师师长。1951年率领第一八〇师入朝参战。第五次战役第三阶段第一八〇师陷于敌后被歼,郑其贵放弃指挥孤身突围。中国人民志愿军总部撤销郑其贵的职务。经过审查后任命郑其贵为第三兵团军务处副处长,1952年评级时被降两级评为准师级。1953年回国,任吉林省军区副参谋长、白城军分区副司令员职务。1955年授予上校军衔。1959年升任白城军分区司令员。1963年晋升为大校军衔,1970年离职休养。1982年按副军职待遇,住安徽省军区合肥第一干休所。1988年被授予二级红星功勋荣誉章。
1990年1月26日在合肥逝世,2月9日安徽日报发了消息,2月13日遗体火化,安葬于合肥市烈士陵园。
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俞樾旧居,又称曲园,位于江苏省苏州市人民路马医科巷43号,面积2800平方米。
俞樾(1821年12月25日-1906年2月5日),清末朴学大师。字荫甫,号曲园,浙江德清人。道光三十年(1850年)庚戌科二甲赐进士出身。曾任翰林院编修、国史馆协修、河南学政。
清光绪元年(1875年),俞樾得友人资助买下苏州一块废地,如曲尺形,他亲自设计,利用弯曲的地形凿池叠石,栽花种竹,建屋30余楹,取《老子》“曲则全”句意,俞樾将其命名为“曲园”,自号曲园居士。园内主要建筑有乐知堂、春在堂、小竹里馆等。小竹里馆地处住宅区与花园联结之处,为当年俞樾读书处,因其窗前广种方竹而得名。后园中,构有曲池、曲水亭、半亭、认春轩等。认春轩位于春在堂以北,该轩面对花园,三面开窗,在此可眺望园中的曲水叠峰,极富情趣。园中遍植青松翠柏,叠石假山散布园中。
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靶形成负电极,基板形成带正电电极。通过使用(例如,作为稀有气体的原子碰撞电离氩气)形成在一个气体空间的等离子体(氩低压等离子体),带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件,或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射,直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时,通过动量传递从目标喷射粒子,该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积(沉积)。
该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料,将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电,因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程,因为随后的离子将被电击穿。另外,可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低,因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。
上述双电极变体也称为直流二极管溅射。另外,还存在诸如直流三极管溅射的其他形式,其中靶被布置为等离子体室外部的第三电极。以这种方式,等离子体产生和溅射过程可以解开耦合。
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