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激发出样品的特征X射线一般需要能量很高的电子束、质子束或X射线。首先,入射的电子(或质子、光子)激发出基态原子的内层电子。内层电子在离开原子后会留下空穴。外层的、处于较高能级的电子在填充这些低能级空穴的时候,多余能量可能会以X射线形式放出。能量散射X射线谱仪收集测量的就是这些X射线的能量和强度。由于这些X射线的能量分布可以反映特定元素的原子特征,能量散射X射线谱可被用于测定样品中的元素组成。
电子束激发源被用于电子显微镜、扫描电子显微镜和扫描透射电子显微镜中,而X射线激发源被用于X射线荧光光谱仪中。X射线探测器可将X射线能量转换为电信号;信号随后被发送至脉冲处理器进行测量并传送到分析仪进行分析。过去最常见的探测器是硅锂(SiLi)探测器,需要用液氮冷却才能工作。如今的新系统常配置silicon drift detectors,计数速度更快,且仅需在热电冷却(甚至于室温)下就可以工作。
高能级的电子在填充低能级的空穴时所出现的能量差不一定都以X射线的形式放出,也可以转嫁给另一外层电子,使其获得足够的能量而逸出原子。这类逸出的电子被称作俄歇电子,而通过测量俄歇电子对样品进行分析的手段被称作俄歇电子能谱学(AES)。
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* ?:奉恩将军定埏 素勒玄孙,万成曾孙,亨杰孙,英芹二子,英茂养子
* 1737年—1739年:已革奉恩镇国公明赫 博尔果洛孙,伊泰子,1739年革退
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