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化学机械平坦化是在机械抛光的基础上根据所要抛光的表面加入相应的化学添加剂从而达到增强抛光和选择性抛光的效果。

氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质（ILD），其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用，从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低，在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。

金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别，采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。

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唯象理论（phenomenology），是物理学中解释物理现象时，不用其内在原因，而是用概括试验事实而得到的物理规律。唯象理论是试验现象的概括和提炼，但仍无法用已有的科学理论体系作出解释。即“知其然而不知其所以然”(知道事情的结果，却不知道造成结果的原因)。

唯象理论对物理现象有描述与预言功能，但没有解释功能。最典型的例子如开普勒三定律，就是对天文观测到的行星运动现象的总结。实际上支配开普勒三定律的内在机制是牛顿的万有引力定律。进一步层次，牛顿的万有引力定律也是唯象的，需要用广义相对论去解释。若推广到量子层面，即量子引力理论，则为一个物理学家尚未解决的问题。

杨振宁把物理学研究分为三个阶段：试验、唯象理论、理论架构。

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郭廷标，男，福建惠安人，中华人民共和国政治人物。

早年毕业于福州大学化学化工系物理化学专业，后供职于鞍山焦化耐火材料设计研究院。1984年，任鞍山市纺织工业公司经理。次年改任鞍山市人民政府副市长。1987年，任辽阳市委副书记兼代市长。1988年，任辽阳市人民政府市长。1990年，调任丹东市人民政府市长。1992年，任辽宁省人民政府副省长。2003年，当选为辽宁省人大常委会副主任。次年，当选辽宁省政协主席。

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